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半導體設備陶瓷零部件

半導體的關鍵性制程均需于干凈無塵的環境內進行,半導體設備零件需要在高溫、真空且具有腐蝕性氣體的環境下使用。精密陶瓷材料在復雜的物理和化學環境下能保持高度的穩定性。

我公司生產的半導體陶瓷零部件,選用大于99.5%純度氧化鋁陶瓷,經冷等靜壓成型、高溫燒結、精密加工和拋光而成。具有優越的耐磨、耐腐蝕、低膨脹系數、絕緣等性能,可以很好的滿足半導體設備對零件的苛刻的要求。

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